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是一种在惰性气体(氮气、)环境中,用石墨加热器将 晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

主要构成如下

提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成

副室:主要是副室筒以及上下法兰组成 l

炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成 l

炉筒:包括取光孔 l

下炉筒:包括抽真空管道 l

底座机架:全铸铁机架和底座 l

坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成 l

分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等 l

氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件 l

真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等 l

电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线 l